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| 徠卡高真空鍍膜儀-LeicaEMACE600概述 | ||
| LeicaEMACE600是一款高真空鍍膜儀，真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵，無油真空系統(tǒng)，真空度可達2x10-6mbar。鍍膜細膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測器，可控制鍍膜厚度。全自動電腦控制，自動完成抽真空、鍍膜、放氣等全過程，一鍵操作。采用當下流行的觸摸屏控制，簡單方便。儀器可選離子濺射鍍金屬膜，滿足高分辨場發(fā)射掃描電鏡（FESEM）需求，可選碳絲蒸發(fā)鍍碳膜，用于X-射線能譜及波譜分析，或者TEM銅網(wǎng)鍍碳膜，還可以選擇電子束蒸發(fā)方式鍍膜，獲得極其細膩的金屬膜與碳膜，可用于DNA投影等特殊用途。 | ||
| 徠卡高真空鍍膜儀-LeicaEMACE600性能 | ||
| •重現(xiàn)的結(jié)果：運行全自動化過程，輔以參數(shù)和協(xié)議設置。集成的石英測量和 自動化3軸載物臺移動 •小巧緊湊：設計緊湊，占地面積小節(jié)省了實驗室空間 •容易清洗：可拆卸的門、卷簾、內(nèi)部屏蔽、來源和載物臺，確保制備高品質(zhì)樣本 的環(huán)境清潔 •操作簡便：直觀的觸摸屏，松推配合的連接器和免工具的目標變更，舒適的前門 鎖定 •自定義配置：可滿足不同的具體需求 •低溫鍍膜：真空低溫傳輸系統(tǒng)適應將室溫鍍膜機轉(zhuǎn)換成低溫鍍膜機。樣本能在低 溫下于受保護的環(huán)境中進行鍍膜和傳輸 | ||
| 徠卡高真空鍍膜儀-LeicaEMACE600技術參數(shù) | ||
| 可任選離子濺射模式，碳絲蒸發(fā)鍍碳模式，碳棒（熱阻）蒸發(fā)模式， 電子束蒸發(fā)模式，雙濺射模式，濺射-碳絲模式，濺射-碳棒模式，濺 射-電子束模式，雙電子束模式，可兼容EMVCT100冷凍傳輸系統(tǒng)， 可選輝光放電（用于網(wǎng)格表面親水化） | ||
| 設計脈沖式碳絲蒸發(fā)方式，可控制碳膜厚度 | ||
| 內(nèi)置石英膜厚檢測器，控制鍍膜厚度，精度達0.1nm | ||
| 全自動程序控制，自動完成抽真空、鍍膜、放氣等過程 | ||
| 觸摸屏控制，簡單方便 | ||
| 采用隔膜泵+渦輪分子泵，無油真空系統(tǒng)，真空度≤2x10-6mbar | ||
| 濺射電流：0-150mA可調(diào) | ||
| 方形樣品倉設計，樣品倉尺寸：200mm（寬）x150mm（深）x195mm（高） | ||
| 樣品臺內(nèi)置旋轉(zhuǎn)，工作距離調(diào)節(jié)范圍：30-100mm | ||
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